手机版 |
产品分类 |
其它辅助设备
Proteox5mK
IntegraAC
超灵敏背照式sCMOS相机
电池异物颗粒自动分析系统
药品EDS检测及审查系统
Agar镀膜仪喷碳仪B7367A
Agar镀膜仪喷金仪B7341
多核台式核磁共振谱仪
ALE原子层刻蚀
单晶圆刻蚀系统
实验设备
KelvinoxMX
KelvinoxHA
KelvinoxTLM
KelvinoxJT
TeslatronPT
SpectromagPT
ProteoxMX型模块化稀释制冷机
元素分析仪
日本电子JED能谱元素分析系统 AZtecTEM
透射电镜元素分析系统
电镜元素分析系
-电镜元素分析系统
扫描电镜微量元素分析系统
牛津仪器GeoSpec 岩芯分析仪
原子力显微镜
牛津仪器原子力显微镜
大样品原子力显微镜JupiterXR
电化学原子力显微镜
原子力显微镜
扫描电镜
牛津仪器快速扫描电容显微镜
牛津仪器ANDOR台式共聚焦显微镜BC43
Sona sCMOS 生命科学显微相机平台
色谱仪
牛津仪器INCAWave波谱仪
热分析仪
牛津仪器MQC+台式磁共振分析仪
定制加工件
牛津仪器TKD样品座
其他测试设备
螺线管型磁体
联系方式 |
产品系列
产品描述
凭借在蚀刻GaN,SiC和蓝宝石等材料方面的丰富经验,我们的技术既能够满足性价比的要求、又能使器件的性能得到更优化。
PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统为得到更为精湛的刻蚀效果提供了智能解决方案,使您在行业中能保持竞争优势。
高效的刻蚀速率
低购置成本
专为腐蚀性的化学成分而设计
出色的刻蚀均匀性
适用于蓝宝石的静电压盘技术
蓝宝石和硅上的GaN
高导通抽气系统
可与其它PlasmaPro系统集成
设备特点:
主动冷却电极 - 在刻蚀过程中保持样品温度
高功率ICP源 - 产生高密度等离子体
可靠的硬件且易于维护 - 可保持长时间正常运转
磁场垫环 - 增强离子的控制和均匀性
静电压盘技术 - 适用于蓝宝石,以及蓝宝石和硅基的GaN
加热的腔室内衬 - 优化以减少腔壁沉积
先进的自动匹配单元(AMU) - 提供快速,高效和准确的匹配,确保工艺的高度准确重复性